政府計劃向立法會申請28.4億元，建立微電子研發院。當局表示，微電子研發院將是一個由基金撥款資助的研發機構，以政府全資擁有的有限公司形式運作，將專注支援第3代半導體的研究和發展。

當局指，第3代半導體，不論是「碳化矽」或「氮化鎵」，都可應用在新能源汽車，以及其他工業和消費型電子產品，例如光伏逆變電源、再生能源、家電和冷氣機的節能等用途，市場潛力非常巨大。目前第3代半導體處於發展初期，當局認為，憑借內地市場的龐大機會，香港將有很好的發展機會，並有潛力進入世界領軍的行列。

當局計劃在2025年底前，在元朗創新園微電子中心，完成設置2條量產前的「中試線」，分別負責「碳化矽」或「氮化鎵」，協助初創、中小企試產，將科研成果產業化。

當局預期，研發院會僱用約200人。目前應科院有進行第3代半導體的研究及發展項目。創科署已跟應科院和微電子研發院開展商討日後各自的科研領域協調和分工，避免資源重疊。